氣體流動法薄膜孔徑分析儀由橢偏系統(tǒng)、氣液混合系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、控制軟件等組成，具有橢偏儀的所有功能，可以檢測200mm及以下尺寸樣品，可擴(kuò)展至300mm，無需真空系統(tǒng)，整個吸附、脫附過程只需要幾分鐘即可完成，數(shù)據(jù)庫中包含常規(guī)薄膜材料的光學(xué)數(shù)據(jù)，方便對設(shè)備進(jìn)行調(diào)試、校準(zhǔn)，配有全自動控制軟件，可以全自動控制樣品的吸附、脫附過程，并完成數(shù)據(jù)分析。

　　分析計算軟件用于數(shù)據(jù)分析和制圖，可以分析孔徑大小及分布、平均孔徑大小、孔隙率等參數(shù)。當(dāng)壓力測量與壓力源在同一直線上時，考慮由于流動氣體產(chǎn)生的不準(zhǔn)確性，以獲得數(shù)據(jù)。壓力越低，流速越高，誤差越大，在這種情況下，執(zhí)行校準(zhǔn)以校正壓力讀數(shù)，對于特別是大孔徑的樣品材料很重要，這種方法的結(jié)果是高度準(zhǔn)確和可重復(fù)的孔徑分析結(jié)果。

　　主要特點(diǎn)：

　　1.從真空開始的可連續(xù)或步進(jìn)加壓。

　　2.全自動計算機(jī)控制兩個低壓站可同時向樣品池充汞。

　　3.1500psia壓力傳感器標(biāo)準(zhǔn)可獲得高壓力范圍的分辨率。

　　4.Autospeed自動控制系統(tǒng)可針對樣品注汞/排汞的特性調(diào)節(jié)變壓速。

　　5.汞蒸汽防護(hù)系統(tǒng)，實(shí)驗(yàn)無污染。

　　6.雙保險內(nèi)部鎖定：樣品池蓋未鎖緊時低壓站不能操作，避免汞泄露。

　　7.*的樣品池傾斜系統(tǒng)可幫助*抽干剩余汞并防止?jié)撛诘墓w濺。

　　8.密閉型低壓注汞，防止操作者直接暴露于汞前。

　　9.氣體流動法薄膜孔徑分析儀自動液壓油循環(huán)過濾系統(tǒng)。